Der Megabitspeicher U 61000

 
Das nebenstehende Bild zeigt einen Ausschnitt des Megabitspeichers U 61000 in den drei Bearbeitungsstufen (von unten nach oben): 
  1. nach der Strukturierung der Poly-Silizium-Speicherplatte
  2. nach der Strukturierung des Molybdänsilicids
  3. nach Fertigstellung und Zwischenprüfung
Layout des Megabitspeichers U 61000 und des Testfeldstreifens für Technologieentwicklung und -kontrolle. Im Bild sind deutlich die vier Teilmatrizen der internen 256-K x 4-Organisation zu erkennen. Die gut leitende Alu-Wortleitung und die höherohmige Molybdänsilicid-Bitleitung führen zur langgestreckten Form der Teilmatrizen.
18poliges Duroplastgehäuse des U 61000 in Dual-in-line-Bauform (DIL).